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氦质谱检漏仪分子泵维修故障及处理
1、仪器界面上TMP显示“0"即分子泵没有工作
有可能是前级压力过高(该分子泵的启动压力为200Pa)导致分子泵无法启动。检查导致压力过高的项目有:真空规管是否有问题,分子泵出口是否打开,机械泵油是否太脏或机械泵是否转动,系统是否有泄漏。也有可能是分子泵的叶片或转子被损害,可自行用工具拨动叶片,判断其能否转动。
2、分子泵加速指示灯不亮
电路板上的保险丝烧断,更换保险丝或检查是否有短路现象。
3、分子泵故障灯亮
检查电路板设置开关是否处于R位置,此时应该在N位置。检查风扇是否停止,如风扇正常,则可能为氦质谱检漏仪分子泵电源故障
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