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飞补测别补濒氦质谱检漏仪时出现的故障维修

　　1、不向细检方式转换，检漏口压力&濒迟;2×10-4惭笔补：检查粗检指示灯是否亮，如果亮，说明氦质谱检漏仪置于粗检方式。再按一下粗检开关切换到自动转换状态。

　　2、灵敏度低。检查叁极规所测压力，等到质谱室压力<10-6MPa时再检漏;如果压力达到，检查离子源是否被污染，清洗离子源。

　　3、氦本底太高。检查机械泵油是否失效(泵油长期使用变质会吸附较多的氦气，导致氦污染)，检查仪器系统是否有漏，真空管路是否污染，检查叁极规上压力是否达到10-6MPa，离子源是否污染。另外还要注意环境的污染问题，如果有多台氦质谱检漏仪，且氦气的使用量较大，通风不好时，致使氦气扩散慢，也会导致氦污染。解决办法是在检漏口的放气阀放气口(通常通大气)处，安装一个几升容量的气瓶，该气瓶与低压氦气管路连接。这样，就大大减少了环境的氦污染。

　　4、工装设计不合理导致检漏通不过。初检时工作正常，工作几次后，抽速大大减慢，检漏不过;加死堵氦质谱检漏仪不漏，工作正常。这是因为工装设计不合理所致，比如工装结构不合理，内表面太粗糙，导致过多的氦气残留;或者密封设计不合理导致密封不可靠(由于工装设计人员对专业真空设计不熟悉)。

　　5、操作不合理导致故障。如工作中，有一个大漏的工件，由于操作人员判断错误，不认为工件漏，而去检查工装的连接或者氦质谱检漏仪，多次对这一工件检漏。这样就会发现，所有工件都不过。原因是大漏的工件经多次检漏后，有大量的氦气进入质谱室，造成质谱室污染。解决的办法是，清理质谱室，反复吸气排气。